Фоторезистийн тойм
Фоторезист буюу фоторезист гэдэг нь хэт ягаан туяа, электрон туяа, ионы туяа, рентген туяа болон бусад цацраг туяанд өртөхөд уусах чанар нь өөрчлөгддөг нимгэн хальсан материалыг хэлнэ.
Энэ нь давирхай, фотоинициатор, уусгагч, мономер болон бусад нэмэлтүүдээс бүрдэнэ (Хүснэгт 1-ийг үзнэ үү). Фоторезист давирхай болон фотоинициатор нь фоторезистийн гүйцэтгэлд нөлөөлдөг хамгийн чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүд юм. Үүнийг фотолитографийн процессын үед зэврэлтээс хамгаалах бүрхүүл болгон ашигладаг.
Хагас дамжуулагч гадаргууг боловсруулахдаа зохих ёсоор сонгомол фоторезист ашиглах нь гадаргуу дээр хүссэн дүрсийг үүсгэж чадна.
Хүснэгт 1.
| Фоторезистийн найрлага | Гүйцэтгэл |
| Уусгагч | Энэ нь фоторезистийг шингэн, дэгдэмхий болгодог бөгөөд фоторезистийн химийн шинж чанарт бараг ямар ч нөлөө үзүүлдэггүй. |
| Фото санаачлагч | Үүнийг фотосенсибилизатор буюу фотохатууруулагч бодис гэж нэрлэдэг бөгөөд фоторезист материалын гэрэл мэдрэмтгий бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэ нь тодорхой долгионы урттай хэт ягаан туяа эсвэл харагдах гэрлийн энергийг шингээсний дараа мономеруудад чөлөөт радикалууд эсвэл катионууд болж задарч, химийн хөндлөн холбоосын урвалыг эхлүүлж чаддаг нэгдлийн төрөл юм. |
| Давирхай | Энэ нь идэвхгүй полимер бөгөөд фоторезистэд байгаа янз бүрийн материалыг хооронд нь холбогч бодис болгон ашигладаг бөгөөд фоторезистэд механик болон химийн шинж чанарыг өгдөг. |
| Мономер | Үүнийг мөн идэвхтэй шингэрүүлэгч гэж нэрлэдэг бөгөөд полимержих функциональ бүлгүүдийг агуулсан жижиг молекулууд бөгөөд өндөр молекул жинтэй давирхай үүсгэхийн тулд полимержих урвалд оролцож чаддаг бага молекул жинтэй нэгдлүүд юм. |
| Нэмэлт | Энэ нь фоторезистүүдийн тодорхой химийн шинж чанарыг хянах зорилгоор ашиглагддаг. |
Фоторезистүүдийг үүсгэсэн дүрснээс нь хамааран эерэг ба сөрөг гэсэн хоёр үндсэн ангилалд ангилдаг. Фоторезистийн процессын явцад, өртөлт болон хөгжлийн дараа бүрхүүлийн ил гарсан хэсгүүд уусч, ил гараагүй хэсгүүд үлддэг. Энэ бүрхүүлийг эерэг фоторезист гэж үздэг. Хэрэв ил гараагүй хэсгүүд уусаж байх хооронд ил гарсан хэсгүүд үлдвэл бүрхүүлийг сөрөг фоторезист гэж үздэг. Гэрлийн эх үүсвэр болон цацрагийн эх үүсвэрээс хамааран фоторезистүүдийг хэт ягаан туяа (эерэг ба сөрөг хэт ягаан туяаны фоторезистүүдийг оруулаад), гүн хэт ягаан туяаны (DUV) фоторезистүүд, рентген фоторезистүүд, электрон цацрагийн фоторезистүүд болон ионы цацрагийн фоторезистүүд гэж ангилдаг.
Фоторезистийг голчлон дэлгэцийн хавтан, интеграл хэлхээ, дискрет хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн нарийн ширхэгтэй хэв маягийг боловсруулахад ашигладаг. Фоторезистийн үйлдвэрлэлийн технологи нь нарийн төвөгтэй бөгөөд олон төрлийн бүтээгдэхүүний төрөл, үзүүлэлттэй байдаг. Электроникийн салбарын интеграл хэлхээний үйлдвэрлэл нь ашигласан фоторезистэд хатуу шаардлага тавьдаг.
Фото хатаах давирхай үйлдвэрлэх, хөгжүүлэх чиглэлээр мэргэшсэн 20 жилийн туршлагатай үйлдвэрлэгч Ever Ray нь жилд 20,000 тонн үйлдвэрлэх хүчин чадалтай, цогц бүтээгдэхүүний шугамтай, бүтээгдэхүүнийг өөрчлөх чадвартай гэдгээрээ сайрхдаг. Фоторезистийн хувьд Ever Ray нь гол бүрэлдэхүүн хэсэг болох 17501 давирхайг ашигладаг.
